Première station
Cette station est basée sur notre série GM (réf. fiche technique GM-Series 02-2007) et est fournie en configuration double diffraction pour une mesure précise de l’orientation de face des wafers en carbure de silicium (SiC).
La configuration utilise un monochromateur en cristal de Si, plan (111), avec un angle Θ = 14,22°, proche des plans cristallographiques à mesurer ((006) / (004) dans 6H / 4H).
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Spécifications
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Codeur haute précision
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Détecteur à fenêtre longue pour la mesure de plans inclinés jusqu’à 4°
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Affichage numérique des angles en degrés décimaux
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Précision : 0,001°
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Résolution : jusqu’à 0,001°
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Table de travail horizontale pour montage d’accessoires
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Charge admissible : jusqu’à 25 kg
Support standard avec maintien par vide
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Support standard type fenêtre avec face en carbure de tungstène et orifices d’aspiration
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Poussoir à ressort réglable pour le maintien d’échantillons de plus grande taille
Permet la mesure de wafers centrés jusqu’à au moins 8 pouces de diamètre
Support coulissant pour mesures de flèche (bending)
Ce support se monte sur la table de travail et contre une référence latérale (datum), permettant un montage et démontage sans recalibrage.
Il comprend :
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Face en acier rectifié avec orifices d’aspiration
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Table de translation haute précision
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Course totale : 160 mm
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Réglage de translation par vis dédiée
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Affichage numérique du déplacement (type pied à coulisse digital)
Support pour mesure d’orientation du flat wafer
Le wafer est maintenu sur le dispositif par aspiration (vide).
Deuxième station
Cet équipement est dédié :
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à l’orientation rotationnelle des cristaux SiC (orientation du flat),
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ainsi qu’à l’orientation axiale des cristaux avant collage, en vue de la découpe sur scie à fil.
À cet effet, la table de travail est équipée d’un système de maintien intégrant les éléments suivants :
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Table de translation montée sur rail (perpendiculaire au plan de référence de l’instrument)
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Dispositif rotatif avec codeur
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Précision / résolution maximale : 0,01° / 0,001°
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Système de réglage fin et dispositif de freinage pour un contrôle précis de la rotation
Procédé d’orientation rotationnelle
L’échantillon est collé sur un support qui se monte dans le système rotatif à une position répétable (référence mécanique).
Le procédé consiste à faire tourner l’échantillon jusqu’à l’obtention d’un pic de réflexion.
La valeur angulaire affichée par le système correspond à l’angle entre la référence du support et le plan de rectification.
Cette valeur est utilisée comme référence d’orientation pour être transférée vers la rectifieuse.
La rectifieuse est équipée d’un dispositif compatible et calibrée de la même manière que le système rotatif du goniomètre.
Orientation axiale
L’échantillon est maintenu par aspiration (vide) sur un support qui se monte dans le système rotatif à une position répétable (référence mécanique).
Le processus d’orientation suit notre procédure standard d’orientation GM.WS
(voir fiche technique GM.WS).
Contrairement au marquage vertical habituellement utilisé dans le procédé GM.WS, la valeur angulaire affichée par le support rotatif est ici utilisée pour transférer la position d’orientation vers la station de collage, équipée du même dispositif.
Lecture angulaire (goniomètre et dispositif rotatif)
Cette fonction est assurée par un système PC dédié.
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Logiciel spécifique fonctionnant sous environnement Windows 10 (64 bits) ou version antérieure
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Carte PC dédiée pour bus PCI
Équipement PC intégré
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PC industriel en configuration « mini-tour », comprenant :
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unité centrale avec système d’exploitation (version anglaise)
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écran plat 17"
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clavier et souris
(Détails sur demande)
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L’unité centrale est montée dans un ensemble en acier fixé sur le côté de la machine.
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L’écran et le clavier sont intégrés mécaniquement au pupitre de commande.
Outillages pour la deuxième station
Supports pour orientation rotationnelle et orientation axiale
Outillage pour rectifieuse
Merci de nous fournir les spécifications de la rectifieuse.
Le prix pourra être ajusté en fonction du modèle de rectifieuse.
Cet adaptateur se monte sur la table magnétique de la rectifieuse.
La table devra être équipée d’une règle latérale de référence (datum) afin d’assurer un positionnement correct de l’adaptateur.
La base de l’adaptateur avec codeur est compatible avec une table à champ électromagnétique pendant le fonctionnement de la rectifieuse.
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L’adaptateur est principalement constitué :
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d’un corps mécanique associé à un codeur,
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le codeur étant relié à un affichage numérique angulaire.
L’ensemble est équipé d’un capot de protection pour sécuriser le dispositif pendant l’opération de rectification.
Le corps de l’adaptateur est conçu pour recevoir un support qui se monte dans le système rotatif à une position répétable (référence mécanique).
L’échantillon est collé sur ce support.
Ce support est identique à celui utilisé sur la station GMR du goniomètre.
L’adaptateur est calibré selon la même procédure que le système rotatif du goniomètre.
Le support doit être réglé à l’angle de référence fourni par le goniomètre après le processus d’orientation rotationnelle.
Une fois le réglage effectué, la position du support est verrouillée et l’opération de rectification peut être réalisée.
